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国产光刻机工厂落地雄安?中国电子院澄清→

  

  近期,各大视频平台疯传一条消息

  称清华大学EUV项目

  把ASML的光刻机巨大化

  实现了光刻机国产化

  并表示这个项目已经在雄安新区落地

  还在视频中配了这样一张图

  表示图片中的项目就是光刻厂

  ⬇⬇⬇

国产光刻机工厂落地雄安?中国电子院澄清→

  该项目是国产光刻机工厂?

  NO!

  这是北京高能同步辐射光源项目(HEPS)!

  关于

  北京高能同步辐射光源

  HEPS坐落于北京怀柔雁栖湖畔

  是国家“十三五”重大科技基础设施

  它是我国第一台高能量同步辐射光源

  也是世界上亮度最高的

  第四代同步辐射光源之一

  早在2019年就开始建设

  将于2025年底投入使用

△北京高能同步辐射光源项目实拍图

  HEPS是干嘛用的呢?

  它的作用是通过加速器

  将电子束加速到6GeV

  然后注入周长1360米的储存环

  用接近光速的速度保持运转

  电子束在储存环的不同位置

  通过弯转磁铁或者各种插入件时

  就会沿着偏转轨道切线的方向

  释放出稳定、高能量、高亮度的光

  也就是同步辐射光

国产光刻机工厂落地雄安?中国电子院澄清→

  简单的说

  HEPS可以看成是一个

  超精密、超高速、具有强大穿透力的

  巨型X光机

  它产生的小光束

  可以穿透物质、深入内部进行立体扫描

  从分子、原子的尺度

  多维度地观察微观世界

  HEPS是进行科学实验的大科学装置

  并不是网传的光刻机工厂

国产光刻机工厂落地雄安?中国电子院澄清→

  该项目由

  全国勘察设计大师、

  国投集团首席科学家娄宇带队

  中国电子院多个技术科研

  和设计团队协同合作

  从项目可研立项到项目落地

  中国电子院攻克了多项技术和工艺难关

  解决了项目不均匀沉降、微振动控制、

  超长结构设计、光伏板设计、

  精密温度控制、工艺循环冷却水系统、

  超复杂工艺系统等七大技术难题

  实现了重大技术突破

  指标控制达到了国际先进水平

  目前高能同步辐射光源配套工程已全面完工

  向产生世界最“亮”的光又更近了一步

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